評(píng)價(jià)范圍：涉及的建（構(gòu)）筑物：位于杭州灣上虞經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)〔2023〕G4號(hào)地的1#生產(chǎn)廠房、特氣房、化學(xué)品庫(kù)、液氮儲(chǔ)罐、液氬儲(chǔ)罐、廢水站。涉及的原輔料：氫、丙烯、五氯化鉭、氬〔壓縮的或液化的〕、氮〔壓縮的或液化的〕、甲基三氯硅烷、柴油、甲烷、等靜壓石墨、R134a（1，1，1，2-四氟乙烷）、氫氧化鈉，共11種。涉及的工藝：機(jī)加工生產(chǎn)工藝、高純半導(dǎo)體用石墨件工藝、涂層石墨件工藝及配套供氣、物料儲(chǔ)運(yùn)等輔助工藝。涉及的設(shè)備、設(shè)施：純化爐、涂層爐和數(shù)控車床等。與上述工藝系統(tǒng)相配套項(xiàng)目自身的給排水、供配電、動(dòng)力等公用工程及其他輔助設(shè)施。建設(shè)項(xiàng)目與周邊環(huán)境相互影響；總平面布置。