浙江至純精密制造有限公司為適應行業(yè)發(fā)展需要，總投資21944.21萬元，租賃海寧國芯科技有限公司廠房總建筑面積44335.54m2，建設至純半導體設備模組及部件制造項目，形成年產高純度閥200套、加熱器180臺、靜電消除器250臺、晶圓位置掃描器250臺、馬蘭戈尼干燥機78臺、旋干機自動平衡器100臺、兆聲波230臺、IPA濃度計230臺、高低溫泵100臺的生產能力。

該項目立項后，由浙江圣泰安全技術有限公司出具安全預評價報告，由信息產業(yè)電子第十一設計研究院科技工程股份有限公司出具總平面布置圖，由中圖設計有限公司出具安全設施設計專篇。目前浙江至純精密制造有限公司至純半導體設備模組及部件制造項目經前期建設，業(yè)已竣工，各項投用基本到位，按照《建設項目安全設施“三同時”監(jiān)督管理辦法》（原國家安監(jiān)總局令第36號，第77號令修訂）、《關于修改<浙江省冶金等工貿行業(yè)建設項目安全設施“三同時”監(jiān)督管理暫行規(guī)定>的通知》（原浙安監(jiān)管綜〔2017〕45號）等規(guī)定，需落實建設項目安全設施“三同時”驗收，以論證和確認建設項目與法律法規(guī)、標準規(guī)范要求的符合性。

   本項目產品不屬于危險化學品，但在生產過程中涉及使用危險化學品：氮[壓縮的]、氬[壓縮的]、氦[壓縮的]、氫氧化鈉、25%硝酸、55%氫氟酸、乙醇、丙酮、異丙醇、雙相不銹鋼電解拋光液（35-75%磷酸、10-50%硫酸）、電化學拋光、清洗過程中產生的少量氫氣，該企業(yè)屬于危險化學品使用單位。浙江至純精密制造有限公司屬于半導體器件專用設備制造（C3562），未列入《危險化學品安全使用許可適用行業(yè)目錄（2013年版）》（原國家安全生產監(jiān)督管理總局公告2013年第3號）中，不需要辦理《危險化學品安全使用許可證》。